大家好今天和大家一起聊一下MEMS傳感器，首先我們要了解一下什么是MEMS技術。MEMS就是Micro-Electro-Mechanical system微機電系統(tǒng)英文單詞的縮寫，它是將微電子電路技術與微機械系統(tǒng)融合到一起的工業(yè)技術。他的尺寸范圍一般是在微米范圍，微機電系統(tǒng)由尺寸為1到100微米的部件組成。一般微機電設備的通常尺寸在20微米到1毫米之間。
接下來我們來了解一下利用MEMS技術生產制造出來的傳感器，為什么會有MEMS傳感器呢？因為對于做傳感器芯片的公司來說，為了適應更智能化小型化需求，會利用MEMS技術來生產和設計一些傳感器，這樣傳感器的體積會更小，一般長寬高都在毫米級別，在現(xiàn)代化的生活當中，其實我們身邊絕對少不了MEMS傳感器。比如我們使用的智能手機、智能手環(huán)、智能手表等，這些現(xiàn)代化的可穿戴設備里面都至少使用了MEMS加速度傳感器或者陀螺儀，有的甚至還會使用地磁傳感器。就拿我們比較熟悉的微信運動步數(shù)來說，他就是利用這些傳感器來檢測你的運動狀態(tài)。所以說MEMS傳感器已經(jīng)和我們的生活息息相關無處不在。
那MEMS傳感器有哪些部分組成呢？第一個肯定是必須要有一個MEMS單元；第二個ASIC電路；第三個解耦單元；第四個就是連線，需要把MEMS單元和ASIC電路連接起來；第五就是承載這些部分的PCB板。通過這些單元共同組成了一個MEMS傳感器。
市面上常見的MEMS傳感器，測量物體加速度的加速度傳感器、測量角速度的陀螺儀傳感器、可以將各種磁場及其變化的量轉變的電信號的地磁傳感器，以及氣壓傳感器、溫度傳感器、壓力傳感器、電場傳感器等。
實際應用當中，大部分情況都需要將這些傳感器結合在一起使用，組合成感知更加豐富的系統(tǒng)。例如蘇州邈航公司所生產的慣性測量單元就是結合了MEMS陀螺儀及加速度計?？梢酝瑫r輸出載體的角速度和加速度信息。結合陀螺儀、加速度計、磁羅盤、氣壓計、溫度計生產的航姿參考系統(tǒng)，可以提供載體航姿及航向信息。結合陀螺儀、加速度計、磁羅盤、氣壓計、溫度計、衛(wèi)星接收機生產的組合導航系統(tǒng)，可以提供載體航姿、航向。位置等信息。與傳統(tǒng)的產品相比利用MEMS技術生產的設備擁有體積小、重量輕、功耗低、可靠性高等特點。已廣泛應用于可穿戴設備、無人機、無人船、無人車、機器人等領域。
